ホログラフィック光学素子(HOE)の製造データのエクスポート｜VirtualLab技術情報

ソフトウェア設計ツールとその後の素子の製造との間の良好な相乗効果は、製造工程において容易に解釈できる設計された構造の情報を提供するソフトウェアの機能、言い換えれば、製造に使用するデータ形式で構造の情報をエクスポートすることができるかに依存しています。この資料では、量子化されたHOE構造の製造データを様々なデータフォーマットでエクスポートする方法を示します。このワークフローをラピットプロトタイピングや3Dプリントに広く使用されているSTL形式の出力及び、リソグラフィー露光技術に採用されているGDSII形式の出力について説明します。 

タスクについて

基本ガウシアンビームを長い焦点深度を持つベッセルビームに成形するように設計されたHOEの製造データはどのようにエクスポートすればよいのでしょうか？

 

入射波：

シングルモードファイバーからの出力（ガウシアンビームとしてモデル化）
波長1064nm
ウエスト半径3.3μm

HOE:

コリメーションレンズとアキシコンレンズを組み合わせた機能

see the fullApplication Use Case:
“Bessel Beam Generation behind a Fiber with a Holographic Optical Element"

量子化HOE加工データのエクスポート

サポートされる製造エクスポート仕様

• 出力する場所
• マスク分解パラメータ
• ピクセル化またはポリゴンデータエクスポート（+エクスポート精度パラメータ）
• ファイル形式（対応フォーマット：ビットマップ、テキスト、GDSII、CIF）

HOE製造データのエクスポート - プレビュー

構造の3Dビューを右クリックすると、この表示を設定するための追加オプションが示されます。この3Dビューをエクスポートに利用することもできます！

HOE製造データのエクスポート - サンプルデータビットマップピクセル化

HOE製造データのエクスポート - サンプルデータGDSII ピクセル化

GDSIIは、例えばリソグラフィ露光技術において一般的に使用されるファイル形式です。1と0で、基板が覆われる(1)か、化学エッチング化合物(0)に曝されるであろうマスクの位置を記述します。化学物質は露出した部分を侵食して、その部分の物質の量を減らします。覆われている部分は、もともとの高さを保持します。このようにして所望の形状が達成されます。

HOE製造データのエクスポート - サンプルデータポリゴンCIF

ポリゴンエクスポートは、任意のポリゴンのエクスポートをサポートします。そのサンプリング精度は、ポリゴン方向の精度とポリゴンあたりの点の最大数によって制御されます。

ドキュメント情報

タイトル	ホログラフィック光学素子（HOE）の製造データのエクスポート
文書コード
バージョン	1.0
エディション	VirtualLab Fusion Basic + Diffractive Optics Toolbox Gold
ソフトウェアバージョン	2020.2(Build 2.22)
カテゴリー	Feature Use Case
参考資料	Export of Fabrication Data for Smooth Surfaces