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2023-02-07

LED光でクロスパターンを生成するGCAの設計と解析

このシナリオでは、LED 光をクロスパターンに整形するためのgrating cells array(GCA) という素子の設計と解析をご紹介します

モデリング概要

ファイル:Sc317_LED2Cross_01_DTP.lpd
  • 面光源はパーシャルコヒーレントモードを使ってモデリングされます:
    – 光はモードの設定によって表現されます–モードは同一のファーフィールド形状を持ちますが、異なる位置、重み、波長を有します
    – この事例では、モードは球面波としてモデリングされます

  • LEDのパラメータ:
    – 波長532nm
    – LEDチップの発光サイズ = 光源面の直径:0.1mm x 0.1mm

横モードの形状は、光源のファーフィールドを定義します

  • Design Target Pattern(DTP)として使用される目標とする光の分布は、インポートしたbitmapファイルを使って指定することができます

  • この事例のbitmap ファイルは30 mm×30 mm の領域を表現します
    実際のターゲット光パターンの辺の長さ:14. 7×14. 7 mm

この事例では、以下のパラメータが選択されています:

  • Grating Cells Array は100 セル×100 セルで構成されています
  • セルサイズ:100 x 100µm
  • アレイの直径:10 x 10 mm

システム設定

ファイル:Sc317_LED2Cross_02_BaseSystem.lpd
  • この照明システムの設計とシミュレーションのため、光学系の描写には特定のLight Path Diagram (LPD) を使用します

  • スタートリボンのLighting item から、新しいLight ShapingSystem with Grating Cells を開きます

  • このLPD には、GCA システムに必要なすべての基本素子が含まれています

システムパラメータ

光源のパラメータ

光源面の大きさ: 100μm x 100μm
波長: 532nm
入射面までの距離: 5,,
インプットフィールド径: 10mm x 10mm
サンプリング点数: 201 x 201
近似された偏光: 円偏光(右方向)

GCA素子のパラメータ

GCA素子の厚さ: 2.5㎜
セルの数: 100 x 100
セルのサイズ: 100μm x 100μm

一般的なシステムパラメータ

回折型ライトシェイパーからターゲット面までの距離: 100mm

 

デザイン設定

ファイル:Sc317_LED2Cross_03_DesignDoc.lpd

•設計のため、インポートされ、仕様を決定したターゲットパターンを設定します

•等距離に与えられたターゲットピクセルによるパターン効果の可能性を避けるため、Variability of Spot Positions を20%×20%に設定します

•位相値の追加の不規則性の導入のために、Apply Random Lateral Shift at Each Grating Cell オプションをチェックします

•再現可能な結果のため、セルとターゲットポジションのランダムマッピングに固定seed(値0)を使用します

設計プロセスを開始するため、Go!ボタンをクリックします

設計されたGCAの解析結果

ファイル:Sc317_LED2Cross_04_FinalSystem.lpd

Ray Tracing System Analyzer とClassic Field Tracing エンジンを使用

 

Ray Tracing System Analyzer

光線追跡では、回折および干渉の影響は考慮されない

Classic Field Tracing (セントラルモード)

  • Light Path Diagram でField Tracingを選択することにより、シミュレーション上で回折、干渉、パーシャルコヒーレンスの影響を考慮することができます

  • 初期設定では、1 次回折光と光源のセントラルモードのみが考慮されます

  • ここでは、Camera Detector でGrating Cells によって生成された全てのスポットのインコヒーレントな重ね合わせを表示しています

Classic Field Tracing (LED 寸法)

  • ここでは、LED は実際のサイズによる影響をシミュレートした5×5 横モードで表示されます

Exportオプション

  • ASCIIデータとしての全てのセルの解析パラメータ:CSV

  • バイナリマスクの製造をする場合:GDSII

まとめ

  • VirtualLabは光の偏向のために微細構造Grating Cells Array (GCA) を使った照明システムのための非常に強力な設計アプローチを提供します

  • Grating Cells Array の設計と解析は、回折、干渉およびパーシャルコヒーレンスの影響を考慮して行うことが可能です

  • GratingCells Array はLED 光の再整形と均一化に使用できます